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主題: 回覆題目
時間 : 2012-05-29 19:28:25
作者: 鄭中緯
1. Film的結晶種類(amorphou,single-crystalline,poly-crystalline)
晶粒大小, 薄膜應力,厚度,密度(孔隙率)
2.粉末X-Ray 試片(日)-dector (2日) 繞射與試片表面平行 1mm厚度之厚膜<100nm厚度之薄膜
低掠角 入射光與試片固定 只有偵測器(2日)變化
3. SIMS AES XPS XRF
成分 ppm 0.1~1% 0.1~1% ppb
模向 1~10nm <nm >10nm >10nm
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